本文標題:掃描電子顯微鏡機構組成
信息分類:站內新聞 新聞來源：未知 發布時間：2014-4-7 12:42:08
掃描電子顯微鏡機構組成
掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像
系統。掃描電子顯微鏡真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。
真空泵用來在真空柱內產生真空。有機泵、擴散泵以及渦分子泵三
類，但對于發射槍或鑭槍，則需要機泵加渦分子泵的組合。
成像系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為密封，用
于放置樣品。所以原電子束系統中的燈絲氧化而失效，還需要以純
氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。
為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。電子束
系統由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產生一束能量分布極
窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。
電子槍用于產生電子兩類，一類是利用發射產生電子，稱為場致發
射電子槍。需要小極高真空。不需要電磁透鏡系統。
另一類則是利用熱發射產生電子，成像不如其他兩種明亮，常作為標
準配置。需要略高于鎢槍的真空產生過度飽和和熱激發問題。
電磁透鏡熱發射電子需要電磁透鏡來成束，所以電磁透鏡必不可少。
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